연구장비산업인과 함께 만들어가는
연구장비산업 데이터 플랫폼
The Data Platform for Research Equipment Industry
1. 연구장비명 : 3차원 홀로토모그래피 현미경(HT-2H)
2. 기업명 : ㈜토모큐브
3. 평가기관 : 한국표준과학연구원
4. 평가결과 :
- 투과 물체 측정용 디지털 홀로그래피 현미경에서 획득한 디지털 홀로그램을 이용하여, 산술 복원 후 위상 이미지의 공간 해상도 및 굴절률 측정 정확도 평가를 수행
- Angular spectrum method를 이용한 파면 복원시, 공간 해상도는 308.07 nm (오차범위 0.5 nm)이며, 수직‧수평 해상도의 차이는 20 nm 내외로 우수한 광학 설계를 가짐
- 굴절률 용액 접지 조건에서 굴절률 측정 정확도는 당초 목표로 한 소수점 3자리 정확도보다 높은 소수점 4자리 정확도를 가짐을 확인
- 본 평가 결과는 토모큐브의 단층 촬영 기법을 이용한 3차원 위상 정확도 측정 평가의 기반 연구 수행 및 이용자들에게 토모큐브 사의 현미경 신뢰도를 제시할 수 있음
- Long working distance (1.5 mm ~ 2.2 mm) 렌즈를 이용한 현미경 시스템이지만, 슬라이드 글라스를 이용할 경우 실제 동작범위는 170 ㎛ 내외
- 가간섭 (Coherence) 레이저 광원을 이용하므로, 무접지 조건에서 회절에 의한 위상 오류가 발생하며, 배경광의 회절무늬로 인한 측정 오류가 존재할 수 있음. 따라서 반도체 시료와 같은 투과도가 높은 시료에 대한 디지털 홀로그래피 측정은 오류가 발생할 수 있음.
- 하지만 앞선 두 가지 문제 사항 사항은 바이오 시료를 주 타겟으로 실험하는 토모큐브 시스템에 큰 영향을 미치지 않으므로, 위상값을 활용한 바이오 시료의 굴절률 측정 신뢰도에는 영향을 주지 않을 것으로 판단함.
※ 연구장비 성능평가 결과서 문의 : 042-865-3653 / [email protected]